富創得 -富創得展出18吋晶圓專用潔淨烤箱

台灣富創得工程具有優秀的烤箱設計和溫控技術，自主研發的Oven系列（SIO-300-200），獲得世界大廠肯定，是台灣半導體設備業令人振奮的消息。其450度高溫Oven系列（SIO-300-450）、專為18吋晶圓設計的潔淨烤箱（SIO-450-200），也將成為今年半導體展最受關注的亮點。

總經理吳功表示，台灣富創得工程2008年成立，儘管時間不長，但台灣幾乎所有半導體工廠均使用該公司的產品。憑藉強大的技術能力，美國總公司1996年開發全球第一部8吋SMIF晶圓盒開關器及機器人手臂（SMIF Arm），為HP Corvallis建立全球第一條SMIF生產線。

此後，台灣富創得工程持續推出令市場驚艷的產品，以SIO-300-450為例，潔淨度達到世界最高水平，氣體消耗量只有進口機台的10%，溫控曲線也優於美日進口設備，在發展3D IC和MEMS核心技術將扮演關鍵角色。該公司亦配合台積電的450mm晶圓發展計畫開發SIO-450-200潔淨烤箱，最高溫度250度，未來將進一步投入SIO-450-450 PI Oven系統開發，朝450度高溫Oven發展。

台灣富創得工程母公司為美商Fortrend，1979 年在矽谷成立，以自動化晶圓片及光罩傳送系統馳名國際，1990年代就已享譽全球，取得晶圓片垂直傳送系統全球市占率五成。副總經理黃元裕表示，結合Fortrend 長達32年的卓越自動化及溫控技術，台灣富創得成功研發SIO-300-200（最高可達250度C）系列Oven，性能和價格皆具競爭力，數年內便主導台灣高端oven的主流市場，取代進口設備。今年更擊敗國際大廠，獲得美國最大DRAM生產商的第一張訂單，將SIO-300-200 Oven導入前段製程。

行銷部經理邱金纘表示，與母公司合作推出20奈米光罩去水系統，能有效控制光罩污垢薄膜（reticle haze）的形成，已在客戶端驗證，數據顯示出優異的效果，後續潛力無限。20奈米EUV SMIF盒的自動化系統也有部分產品通過Intel及AMAT認證，潔淨度超過業界目前認可的class-1的100倍（ISO-1）。

該公司計畫2013年再引進美國最新技術，投入1,000度高溫爐管設備生產製造，配合中國富創得的太陽能電池片自動化設備，為半導體和太陽能電池生產線，提供最佳性價比的水平擴散爐。

台灣富創得認為，台灣多數半導體設備商製程技術能力很強，若結合公司的精密自動控制技術和整合能力，可在最短時間，以最少研發成本，和客戶共同推出最優良產品，爭取市場先機。







摘錄經濟D4版