廣化科技 -廣化金屬固晶可量產機台 光電展首次曝光國產機種

廣化公司的自動化橋式整流固晶機在全球市場具有重要的領導地位，全球重要的橋式整流器件封裝業者，有90％以上採用廣化設備來完成高品質高產量的自動化產線，而今年度光電展中廣化科技首次曝光國產第一台金屬固晶可量產機台，更獲得業界熱切關注。

廣化科技董事長張維仲表示，該公司於光電展中首次曝光國產第一台金屬固晶可量產機台，目前正進入最後階段500小時及1,000小時高溫高濕測試，預估在明年會有顯著的業績貢獻度，張維仲提及目前固晶機市場都還是國外大廠所掌控，以ASM pacific為代表，固晶機市場本身有要求高精度的技術門檻，同時也有與客戶研究規格共同開發需長時間的投入，平均須2年的開發時期造成許多設備大廠未投入，算是一項有技術門檻及行銷障礙的產業。

廣化科技參與工研院機械所開發之最新固晶技術低溫固晶/固液擴散製程，此技術以低溫(90℃)及局部加熱方式進行固晶製程，再以150℃/30min之條件進行固液擴散，所完成產品，其再融溫度可達25 8℃～260℃，此技術達成「低溫製程，高溫應用」，是極佳的高功率LED固晶方式。低溫固晶/固液擴散製程以熱蒸鍍方式於晶粒背面鍍一層低溫焊接材料，利用低溫熔解的特性以快速局部加熱方式固晶。

張維仲強調廣化科技第一台金屬固晶可量產機台設備設計概念在於將低溫固晶之2項主要製程動作(熱低溫固晶、固液擴散)，整合在單一自動化設備中，該設備具有的特性，包括：1、自動進出料，入料的部分以堆疊入料設計，可有效節省空間及增加容量。2、熱固晶軌道之設計可提供穩定的可程式化溫度及含氧量小於100ppm之固晶環境。3、高精度之線性取放頭及穩定的頂針設計可有效提高固晶精度，取放頭具備旋轉功能以供晶粒角度補正及磊晶功能。4、具備晶粒位置及角度自動化影像補正功能的晶圓平台。5、在固液擴散製程上，以熱風式烤箱作為設計基礎，可節省空間、提升產能及製程穩定性。6、具備多重影像檢測功能，除晶圓平台定位系統外，在晶粒撿取後也具備另一系統由下方檢測晶粒在吸取頭上的位置，藉此補正晶粒X/Y/θ方向偏移。

摘錄工商C4版